MFC流量控制器,即MassFlowMeter(MFM),是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準,不需要溫度壓力補償。
MFC流量控制器不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶(hù)可根據需要進(jìn)行流量設定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設定值上,即使系統壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì )使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩流裝置,是一個(gè)可以手動(dòng)設定或與計算機連接自動(dòng)控制的氣體穩流裝置。
簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),質(zhì)量流量計只測量不控制。而質(zhì)量流量控制器,則帶有控制閥門(mén),既可以測量也可以控制氣體流量大小。
MFC流量控制器的主要的優(yōu)點(diǎn):
(1)直接測量氣體的質(zhì)量流量
熱式質(zhì)量流量計直接測量流體質(zhì)量流量,輸出質(zhì)量流量信號,無(wú)需其他設備,如溫度測試儀和壓力表,也無(wú)需進(jìn)行換算。
(2)無(wú)可移動(dòng)部分
本身無(wú)類(lèi)似轉軸等的移動(dòng)部件,增加了本身的可靠性,無(wú)需機械維護。
(3)可以準確的測量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。
(4)測量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實(shí)現對流量的數字顯示,流量自動(dòng)計量,數據自動(dòng)記錄,計算機管理等。對質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA, 數字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數字串行通訊口, 能非常方便地與計算機連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(5)準確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過(guò)程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制等。
(6)準確度高,重復性好
準確度可達+-1%F.S(fullscale)重復性為+-0.25%F.S(fullscale)
(7)體積小巧,安裝方便,操作簡(jiǎn)單
(8)技術(shù)先進(jìn),符合發(fā)展潮流