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簡(jiǎn)要描述:甲硅烷用途:硅的外延生長(cháng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽(yáng)能電池,光導纖維,有色玻璃制造,化學(xué)氣相淀積。
產(chǎn)品分類(lèi)
詳細介紹
硅烷 (SiH4)
項目名稱(chēng) | 純度指標(%) | |
甲硅烷 | ≥99.99 | |
雜質(zhì)含量(ppm)
| 氬氣(Ar) | ≤0.05 |
氯硅烷(Chlorosilane)) | ≤0.15 | |
乙硅烷(Si2H6)) | ≤0.5 | |
氦氣(He) | ≤1 | |
一氧化碳(CO) | ≤0.05 | |
氧氣(O2) | ≤0.05 | |
氮氣(N2) | ≤1 | |
氫氣(H2) | ≤20 | |
二氧化碳(CO2) | ≤0.05 | |
甲烷(CH4) | ≤0.05 | |
碳(C) | ≤0.2 | |
二氯二氫硅(SiH2Cl2) | ≤0.5 | |
甲基硅烷(CH3Si) | ≤0.5 | |
金屬離子(Metals) | ≤0.03 |
甲硅烷包裝:采用44L、47L鋼瓶充裝,也可根據客戶(hù)需要,分裝到8L的氣瓶中。
用途:硅的外延生長(cháng)、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太陽(yáng)能電池,光導纖維,有色玻璃制造,化學(xué)氣相淀積。
理化性質(zhì): 硅烷在常溫常壓下為具有惡臭的無(wú)色氣體。在溫室下著(zhù)火,在空氣或鹵素氣體中發(fā)生爆炸性燃燒。即使用其他氣體稀釋?zhuān)绻麧舛炔粔虻?,仍能自燃。硅烷在氬氣中?%,氮氣中含2.5%,氫氣中含1%,它仍能著(zhù)火。硅烷濃度在小于1%時(shí)不燃,大于3%時(shí)自燃,1%~3%時(shí)可能燃燒。
注意事項:使用硅烷的工作場(chǎng)所要通風(fēng),保持室內空氣干燥。硅烷裝置要嚴格密封,避免和空氣、水分相接觸,為此,用氣裝置在使用前要用惰性氣體置換里面的空氣后抽真空,這樣反復進(jìn)行置換和抽真空,一定要*清除系統中的空氣和水分。裝置使用以后,也要用惰性氣體置換清洗系統中的硅烷??梢杂煤ぬ铰┢魈铰?。少量硅烷泄漏時(shí),從氧化硅粉末的折出中也可以得知。鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)良好之處,要遠離熱源和氯、溴等氧化劑。工作場(chǎng)所要配備足夠的防護用品及應急用品。硅烷無(wú)腐蝕性,可以使用碳鋼、不銹鋼、銅、黃銅、蒙乃爾、耐蝕鎳基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、尼龍、三氟氯乙烯樹(shù)脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用鉛、橡膠、脂肪、潤滑油、玻璃。凡是可燃性的有機高分子材料應該避免使用。當硅烷大量泄漏時(shí)。緊接著(zhù)就要著(zhù)火,所以無(wú)法用滅火器滅火。但是可以控制火勢,使火災不向周?chē)?。燃燒時(shí)輻射熱不太高,所以應盡可能去關(guān)閉閥門(mén)以止住氣體的流出??捎冒籽┦刍蚴巯ɑ?。廢氣可用水或堿吸收,或者在特殊燃燒器中燃燒成SiO2之后用專(zhuān)門(mén)的過(guò)濾器捕捉。儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過(guò)30℃。應與易(可)燃物、氧化劑分開(kāi)存放,切忌混儲。儲區應備有泄漏應急處理設備。密閉操作,局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過(guò)專(zhuān)培訓,嚴格遵守操作規程。建議操作人員佩戴過(guò)濾式防毒面具(半面罩)。遠離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場(chǎng)所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應急處理設備。
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